快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

產(chǎn)品型號

  快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

主要特點

  1、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

  3、PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

  4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相208-240V AC  50/60Hz  9KW

  2、石英管：外徑Φ110mm，內(nèi)徑Φ103mm，長380mm

  3、加熱元件：紅外燈管，直徑Φ10mm，長300mm

  4、加熱區(qū)：300mm

  5、工作溫度：zui高溫度1100℃

  6、控溫精度：±0.5℃

  7、zui高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s

  8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

  9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水　 　 　 　 　         冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

  10、真空度：10^-3torr

  11、流量計：3個，量程40-400cc/min，精度4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)30kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空計